枯燥是湿法工艺中最终一个过程,为了更好的进步半导体元件的质量,晶圆清洗后有必要彻底枯燥，不然晶圆外表会氧化，还会构成被称为“水渍”（Water Mark）的污染，所以晶圆清洗之后的枯燥是极大影响芯片成品率的重要环节,这使得枯燥技能面临着新的应战。

  一般传统的半导体晶圆枯燥设备有旋转枯燥（Spin Dry）和IPA枯燥（IPA Dry），旋转枯燥除了平衡问题易构成破损外，且又因定速旋转而发生静电，从而会吸附尘粒下降洁净度构成二次污染；别的IPA枯燥需将易燃的异丙醇(IPA)加热发生蒸气，具有潜在的高度风险。

  从而枯燥工艺需要从环保的视点从头审视，为此，华林科纳在前期自研的二代马兰戈尼IPA枯燥机的基础上推出了习惯当下晶圆枯燥范畴的新式枯燥设备：真空马兰戈尼枯燥机！此设备的推出有望进步了半导体制程中产品的良品率，削减相关本钱，进步产能！

  华林科纳(江苏)半导体设备有限公司（简称CSE），成立于2008年3月。前身是姑苏华林科纳半导体设备技能有限公司，与中国科学院姑苏纳米技能与纳米仿生研究所合资共建，其湿制程事务始于 90年代末，具有20多年的职业经历，是国内最早的湿法制程全体解决方案供应商。

  公司下设半导体湿法配备事业部、高纯流体配件事业部、半导体信息服务事业部，其间半导体湿法配备事业部凭仗资深经历，现已构成湿法清洗体系、刻蚀体系、CDS体系、尾气处理体系的四大系列数十种类型的产品，大范围的应用于大规模集成电路电力电子器材、光电子器材、MEMS和太阳能电池等范畴。

  华林科纳(江苏)半导体设备有限公司一向重视继续和技能改善，现在已具有创造专利技能18项，并屡次取得高新技能产品确定证书，必定了企业的全体实力。 10多年以来一直为半导体和太阳能职业供应湿法工艺解决方案，以技能为支撑，以精密办理做确保，以产品和优秀的服务赢得了各界用户的赞赏和信任！

  华林科纳真空马兰戈尼枯燥机,是在马兰戈尼IPA枯燥的基础上利用了抽真空技能，避免了曾经传统枯燥技能构成的晶圆外表沾污和边际损害，一起也去除了马兰戈尼过程中的提拉速率和氮气吹扫的影响所带来的晶圆外表和边际的枯燥缺点，快速缩短了枯燥时刻，进步产能功率！

  4、适合于对枯燥热敏性、易分化、易氧化物质和杂乱成分产品做快速高效的枯燥处理。

  Marangoni 效应:晶片进入枯燥作业槽后，注入超纯水进行溢流漂洗（根绝晶片与空气触摸，污染晶圆）；由氮气带着 IPA 气体充溢体系，在水面上构成 IPA 气体环境；随后晶片与水面缓慢脱离（可经过晶片提拉上升或缓慢排水两种方法完成）， 因为 IPA 的外表张力比水小得多（25 ℃下，IPA 外表张力为 20.9×10-3 N/m；水的外表张力为 72.8×10-3 N/m），所以会在坡状水流表层构成外表张力梯度，发生 Marangoni 对流，水被“吸回”水面。

  真空枯燥原理：作业槽选用碳钢板或不锈钢板折制焊接而成，在Marangoni效应后，晶圆外表还未干，接下来⒈真空泵发动后，作业槽中的不凝性气体和水蒸汽先被抽出，然后只剩下水分子（液态)。⒉跟着真空度的添加，作业槽内肯定压力下降，当槽内的肯定压力下降到与环境和温度相对应的饱满水蒸汽压力时，槽内和晶圆上剩下的水分子欢腾成水蒸气蒸腾。所以真空枯燥即经过真空泵抽去作业槽内部空气到达预订真空度，以利用水在真空环境下沸点低，氧含量低的原理，使晶圆外表和槽内的水分快速蒸腾，从而到达产品枯燥的意图。

  3. 具有进液清洗管路体系，气化异丙醇(IPA)设备、N2供应设备，抽线、装备流量计检测DIW、IPA和N2的运用量

  五颜六色人员操作界面, Proface 7”触摸屏,操作画面规划个性化定制；

  2、DI & DO 皆额定供应衔接/省配线的 I/O 继电器终端模块, 继电器型式可拔插；

  1、可单机式规划，作业槽选用碳钢板或不锈钢板折制焊接而成，槽盖处密封谨慎，抽真空时防灰心；

  2、可集成于湿法设备内部，由电气模块自动控制，方面方便地操作进步晶圆批次功率。

  华林科纳真空马兰戈尼枯燥机是一种高效、节能、易于操作、安全可靠的枯燥设备，该枯燥机能够独自运用，也能够集成于湿法整理洗刷设备内部，以到达干进干出的作用。作为湿制程设备专业研制制作商，公司对晶圆枯燥方法的设备有丰厚的产线运用验证经历，可供应规划、制作、装置、调试(训练)及交给运用一条龙解决方案！

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